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yabo登录-Tanner助力美新(MEMSIC)攻克加速度计难题

发布时间:2020-11-01 04:48:03来源:yabo登录_平台主页编辑:yabo登录_平台主页阅读: 当前位置:首页 > 野史传说 > 手机阅读

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yabo登录-概述加速度计在很多市场中都具有最重要的起到。智能手机中不会中用加速度计,汽车中也不会中用加速度计。这一器件在医疗中的应用于也是与日俱增。

对速度的变化率的测量或许可以有无限的应用于。根据Yole《MEMS产业现状-2018版》报告表明,消费类市场仍是加速度计等惯性MEMS器件仅次于的细分市场,不过,该领域价格压力极大,且竞争十分白热化;近年火热的自动驾驶汽车领域则注目高性能惯性器件,但MEMS技术仍能分给一杯羹;2017年,加速度计等惯性MEMS器件的市场规模大约为35亿美元,预计到2023年将快速增长至40亿美元,2017~2023年期间的填充年增长率低于3%。设计创立加速度计的技术有很多种。

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其中一种常用的技术是生产具备弹簧挂质量块的MEMS器件(图1)。再次发生加快时,质量块将不会产生移动进而延长相同齿和铰链齿之间的间隙,电容也适当地发生变化。由于相同齿上加在电压,当质量块移动时,铰链齿会由于电容的变化产生电压。测量该电压才可确认加速度。

然而,可一动部件不会受到以下情况的影响:粘性(两个密切邻接的表面彼此黏附,如梳齿)、振动产生的误差以及冲击力(g-force)造成的铰链部件的脱落。图1:质量块MEMS加速度计示意图现在让我们探讨到坐落于马萨诸塞州安多弗的MEMSIC?Inc.(美新的半导体有限公司,以下全称MEMSIC)。MEMSIC研发了一种没可一动部件的MEMS和CMOSIC技术。

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使用独有的热技术,通过被冷却的气体分子来测量加速度。因此,MEMSIC加速度计具备诸多优势:无粘性起到可忍受50kg以上的冲击力无以测谐振(具备抗振性)零g紊乱平稳无以测量的延缓现象要将混合信号处理电路与MEMS器件设计到同一芯片上十分艰难,不过MEMSIC已顺利将这些技术构建到同一硅片上,并且已向各行业批量供应了多款加速度计。该公司还解决了另外两大障碍,做了坚决用于标准CMOSIC工艺从而保持低成本生产并且用于Tanner的单套工具将设计研发标准化。

检测加快和运动大多数加速度计依赖滑块确认运动,但MEMSIC却用于硅中冷机械传感器(图2),因此从众多竞争产品中脱颖而出。图2:MEMSIC加速度计基本结构该传感器大小为1平方毫米,其中心是一个在低于环境温度100度的情况下工作的加热器。

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加热器周围平面摆放着热电填,可感测有所不同方位的温度。热电填由一系列热电偶或温度感应器元件构成,串联相连以压低电压。整个传感器几乎密封在气腔中,外面是用作缩放、掌控模数转换的电路,在三轴型号中还包括数字补偿/校准电路。

在不运动时,热电填之间的热产于是均衡的。但只要运动或加快,就不会转变加热器周围的对流模式,使加快方向上的热电填显得比其他方位上的热。仿真电路将热电填产生的信号变化理解为运动和加快。

由于没可一动部件,MEMSIC的加速度计在测量倾侧、弯曲、冲击和振动方面,比对应的机械部件要更加长久、更加可信,且耐冲击性可超过25倍以上(小于50kg)。其加速度计芯片普遍应用于必须掌控或测量运动的产品中,如汽车报警器、移动电子设备、全球定位系统、电梯掌控、病患监测设备和供游戏用于的头戴式显示器。

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